為讓無塵室達到最佳效果，規劃無塵室廠房，及進行無塵室工程時需確保以下幾點：

 

1. 粉塵之阻止

• 機械運動所產生之粉塵

• 人員運動所產生之揚塵

• 玻璃或矽晶圓與承載具之磨擦

• 擦拭工具或材料所產生之粉屑

• 未經擦拭之維修工具, 通訊器材或文具

• 製程腔體釋放之微塵顆粒或粉屑

• 身體肌膚之體屑

• 粉塵堆積

2. 無塵室空間溫度與溼度控制

3. 人員動線

4. 無塵室、廠房儀器設備位置與移機動線

5. 噪音防止

• 製程儀器設備運轉之聲音

• 基板搬運機傳載之聲音

• 空調運轉之聲音

• 廣播聲

6. 靜電與電磁防止

• 玻璃機板與空氣之摩擦

• 玻璃與機械手背吸盤之摩擦

• 製程過程中累積之電荷

• 擦拭過程中所產生之靜電

• 高電流電源線、高頻電源供應器、通信器材之電磁

7. 震動問題

• 儀器設備機械或幫浦運作所造成之震動

• 搬運設備或人員走動之震動

• 地表之自然震動源

• 廠外重型機具或載具之移動

8. 廠房安全設施

• 緊急照明與逃生指示燈之裝置

• 逃生路線之規劃與管制

• 特殊氣體偵測系統之裝置

• 接地設施之裝置

• 有機揮發氣體與酸鹼液氣體之排外系統

• 火災預警措施與自動滅火裝置