各類無塵室廠房參考標準

各類廠房所用無塵室可分以下幾種類型：

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• 潔淨室： Cleanroom ，縮寫為 C/R 

• 超潔淨室：Super Cleanroom  由於半導體元件之微細化(Micronize)，為滿足製程環境之需求，因而控制之更潔淨空間。

• 業用潔淨室 Industerial Cleanroom ，縮寫為 I.C.R 

• 生技用潔淨至 Biological Cleanroom，縮寫為 B.C.R

• 危險性生技潔淨室 Biohazard Cleanroom，縮寫為 B.H.C.R  危險性，意指製程中會產生危害操作人員之生化物質(如細菌培養、化學實驗及抗生素製造等) 

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     各種類型等級的無塵室、潔淨室，客製化無塵室設備、無塵室規劃都可量身打造。